Вакуумное напыление, магнетроны, электронные испарители, лучевое травление

Производим и предлагаем к поставке:

- вакуумный напылительный пост ВУП-5М, ВН-2000М, ВН-3000 (в комплектации под задачи пользователя);

- форвакуумные насосы PFV, PFVA, AFV, AFVK;

- приставки магнетронного распыления (напыления), ПМР-3 к ВУП-5М, ВН-2000М, ВН-3000;

- приставки ионно-лучевого травления ИЛТ;

- электронно-лучевой испаритель ЭЛИ;

- датчики вакуума ПМТ-4, ПМТ-6-3М-1, ПМИ;

- магнетроны (диаметр мишени от 42мм до 104мм);

- кварцевые измерители КИТ;

- блоки питания переменного тока МВ-0,5, МВ-1 для питания магнетронов и приставок магнетронного распыления (13,56 ± 0,135) МГц;

- вакуумные откачные посты;

- блоки питания постоянного и переменного тока;

- доработка и модернизация ВУП-4, ВУП-5, ВУП-5М, ВУ-1, ВУ-1А, УВМ;

- доработка и модернизация любых вакуумных постов и напылительных установок под задачи заказчика;

- разработка и внедрение технологий магнетронного напыления, резистивного травления, ионно-лучевого травления, электронно-лучевого испарения;

- разработка и изготовление вакуумных комплексов под задачи пользователя.

Предлагаем услуги по модернизации, ремонту, сервисному и профилактическому обслуживанию, обучению персонала.